大连气体纯化器设备

大连气体纯化器设备大连气体纯化器设备生产厂家|气体纯化器设备|气体纯化器。气体首先通过高温催化氧化工序，将气体中的CH4、还原性杂质与O2反应转化为H2O和CO2，然后通过多柱吸附工序深度脱除气体中的H2O、CO2、CO、H2、NMHC、CH4杂质，吸附柱附饱和后可通氧加热再生，反复使用，多柱交替吸附、再生，可实现对气体的连续纯化。典型应用：①半导体、LED、激光、太阳能光伏行业：器件制备工艺中热氧化、扩散、MOCVD、等离子干刻等工序所需的**纯O2终端纯化。 ②光纤行业：光导纤维所需O2的纯化。③气体行业：对气源气体进行纯化，标气、零点气的制备。大连气体纯化器设备