大流量**纯氮气纯化器|大流量**纯氮气纯化器大流量**纯氮气纯化器|大流量**纯氮气纯化器 流量10~20000Nm³/h;气体通过吸附工序,深度脱除气体中的O2、H2O、CO2、CO、H2、NMHC杂质,吸附柱吸附饱和后可加热再生、反复使用。多柱交替吸附、再生、可实现对气体的连续纯化。典型应用①半导体、LED/激光、太阳能光伏行业:器件制备工艺中外延、扩散、MOCVD、离子注入、等离子干刻、光刻、退火、搭接、烧结等工序设备所需的N2、H2、Ar、NH3等气体进行纯化②光纤行业:对保护氮、氦气进行终端纯化③气体行业:对气源气体进行纯化④冷轧行业:对保护氮气进行纯化⑤化工行业:对氮、氢、气/液相烃类脱O2、H2O纯化。大流量**纯氮气纯化器|大流量**纯氮气纯化器